重慶新疆疾控中心實驗室潔凈設計
admin 2021-04-15 11:08:21 9186閱讀
潔凈室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。
按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。
當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。
疾控中心實驗室要按照功能用途劃區布置,將實驗室與各區嚴格分開,人流、物流路徑分明,有污染排放的區域要設在實驗室的下風向,吸風口設在上風向,實驗室周圍不宜種植飛揚花粉、絨毛和落葉的植物。
(1)人流
初更室—氣閘更衣室—淋浴更衣室—緩沖室—進入實驗區。
離開時進入凈身室(房間負壓),脫下身上所有的衣物,衣物放入雙門藥液浸泡柜(或其他方式消毒柜)內(雙門藥液浸泡柜的門設計成控制式的,不允許同時打開);然后進入淋浴室淋浴;淋浴后進入記錄室,登記記錄自己的工作和身體污染情況,然后拿著身體狀況表進入體檢室,作污染和常規檢查或住室觀察,無問題進入氣閘更衣室換上自己的衣服下班。
(2)物流
物流:設計成單向性的,從專門的庫房(或暫存間)進入緩沖間,再進入實驗室。離開時必須通過雙門熱壓滅菌鍋進入另一個緩沖間(雙門熱壓滅菌柜的門設計成控制式的,不允許同時打開)。任何物料只要進入是實驗區,不能原路返回。
(3)三廢處理
a.廢液:廢液處理的方法是根據廢液的性質確定的處理方法的。一般采取的方法有:化學處理方法、物理處理方法、生物處理方法。
b.廢氣:廢氣處理可采用的方法有:加熱滅菌方法、高效過濾器方法、混合滅菌方法、火焰滅菌方法等。
c.固體廢料:固體廢料的處理方法有:蒸汽滅菌方法、氣體熏蒸方法、液體浸泡方法、輻射滅菌方法、焚燒處理方法等。
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